据中国国际招标网公开数据统计，工艺设备中的 CVD、刻蚀设备、清洗设备国产化趋势明显，而光刻、离子注入、工艺控制、涂胶/显影等关键设备仍 100%依赖进口品牌。鉴于华虹（无锡）项目后续设备采购可持续，加上90-55nm 的 12 英寸特殊工艺生产线还有厦门士兰微、上海积塔半导体等已启动在建项目，积淀 10多年的老牌国产设备供应商迎来 5-10年时代大机遇。