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晶圆制造过程中的设备与耗材统计

作 者 : 许骁骅
日 期 : 2016-11-07
摘 要 :
一提到集成电路芯片,人们首先可能想到指甲盖大小闪闪发光的方片,其实这其中包含了几亿到几百亿颗不等的电子元器件。晶体管,二极管,电阻,电容等,这些器件经过制造和排布后通过协同工作完成了诸如逻辑运算和数据存储等功能。制造集成电路并不是简单地把元器件拼凑起来,而是涉及到许多步的电路图形印制,沉积,蚀刻等,并且每一步都要重复许多次,最终方能获得正常工作的芯片。

关键词 : 晶圆制造;设备;耗材
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